老化柜是一種環(huán)境烤箱，用于評估多個半導(dǎo)體器件的可靠性并進(jìn)行大容量檢查，以檢查是否過早失效（嬰兒死亡率）。這些環(huán)境室設(shè)計用于集成電路（IC）和其他電子設(shè)備（例如激光二極管）的靜態(tài)和動態(tài)老化。

選擇腔室尺寸

腔室的大小取決于老化板的尺寸，每個老化板中的產(chǎn)品數(shù)量以及每天滿足生產(chǎn)要求所需的批次數(shù)量。如果內(nèi)部空間太小，則零件之間的空間不足會導(dǎo)致性能下降。如果太大，則會浪費空間，時間和精力。

購買新的老化設(shè)置的公司應(yīng)與供應(yīng)商合作，以確保熱源具有足夠的穩(wěn)態(tài)和zui大容量以匹配DUT的負(fù)載。

當(dāng)使用強制循環(huán)氣流時，零件可從間隔中受益，但由于氣流沿整個側(cè)壁分布，因此烤箱可以在垂直方向更密集地裝載。零件應(yīng)與烤箱壁保持2-3英寸（5.1–7.6厘米）的距離。

老化柜設(shè)計規(guī)格

溫度范圍

根據(jù)被測設(shè)備（DUT）的要求，選擇具有動態(tài)范圍（例如，環(huán)境溫度高15°C至300°C（572°F））的腔室

溫度精度

溫度不要波動，這一點很重要。均勻度是指在指定設(shè)置下腔室內(nèi)zui高溫度與zui低溫度之間的zui大差異。在大多數(shù)半導(dǎo)體老化應(yīng)用中，均勻性和1.0°C控制精度的設(shè)定值至少應(yīng)為1％。

解析度

0.1°C的高溫分辨率將提供zui佳控制，以滿足老化要求

節(jié)約環(huán)境

考慮具有制冷劑的老化柜，該制冷劑的臭氧層消耗系數(shù)為零。帶有制冷功能的老化柜與在0攝氏度以下至–55°C的溫度下運行的老化柜有關(guān)。

腔室配置

腔室可設(shè)計有卡籠，卡槽和檢修門，以簡化DUT板和驅(qū)動器板與ATE站的連接。

箱內(nèi)氣流

在大多數(shù)情況下，帶有循環(huán)氣流的強制對流烤箱將提供zui佳的熱量分配，并顯著加快將溫度和熱量傳遞到零件的速度。溫度均勻性和性能取決于將空氣引導(dǎo)到腔室所有區(qū)域的風(fēng)扇設(shè)計。

腔室可以設(shè)計成水平或垂直氣流。了解基于腔室氣流的DUT的插入方向非常重要。

自定義ATE接線

當(dāng)要測量數(shù)百種設(shè)備時，通過孔或測試孔插入導(dǎo)線可能不切實際。定制接線連接器可直接安裝到烤箱，以利于使用ATE對設(shè)備進(jìn)行電氣監(jiān)控。

老化烤箱如何控制溫度

老化烤箱使用執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)PID（比例，積分，微分）算法的溫度控制器。控制器感測實際溫度值與期望的設(shè)定值之間的關(guān)系，并向加熱器發(fā)出校正信號，以要求從無熱到全熱的任何場合應(yīng)用。風(fēng)扇也用于均衡通過腔室的溫度。

用于精確控制環(huán)境烤箱溫度的zui常見傳感器是電阻溫度檢測器（RTD），基于鉑的單元通常稱為PT100。

調(diào)整柜子大小

如果使用現(xiàn)有烤箱，則基于烤箱熱容量和損耗，熱源輸出和DUT質(zhì)量等因素的基本熱模型將使您驗證烤箱和熱源是否足以達(dá)到所需溫度。熱時間常數(shù)短到足以在控制器的指示下產(chǎn)生緊密的環(huán)路響應(yīng)。

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